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南大光电:光刻胶开发和产业化项目预计需要较长时间-世界上最高的建筑

2020年05月27日 17:54:22 来源:南大光电:光刻胶开发和产业化项目预计需要较长时间 编辑:曹魏皇帝

南大光电:光刻胶开发和产业化项目预计需要较长时间

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新浪财经讯5月27日消息,南大光电公告,公司承接的国家“02专项”之“ArF光刻胶产品的开发和产业化项目”的基础建设按计划进行;2019年底完成一条生产线的安装,正在调试阶段。2020年4月,公司采购的用于检测ArF(193nm)光刻胶产品性能的光刻机运入宁波南大光电工厂,5月开始进行安装调试,预计安装调试需要4-5个月的时间。公司制备ArF(193nm)光刻胶用的高纯原材料来源于自主研发,研制出的ArF(193nm)光刻胶样品正在供客户测试。目前“ArF光刻胶开发和产业化项目”正处于光刻胶样品验证阶段,验证过程预计需要12-18个月,甚至更长的时间。

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